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硅片力学性能及热膨胀系数的热稳定性研究作者 王晓燕 , 翟秀静 , 张廷安 , 符岩 , 郑双作者单位 王晓燕 ,翟秀静 ,张廷安 ,符岩 东北大学 ,辽宁 ,沈阳 ,110004 , 郑双 沈阳航空工业学院 ,辽宁 ,沈阳 ,110032刊名 真空与低温英文刊名 VACUUM AND CRYOGE
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