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热处理炉加热温度控制系统的PID控制的粒子群优化（3页）

ＨｏｔＷｏｒｋｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ２０１３，Ｖｏｌ．４２，Ｎｏ．１４随着社会发展和经济进步，ＰＩＤ控制器因为具有多种优良的性质，例如相对简单的结构，以及较高的安全性，因此在实际应用中具有较为广泛的应用范围［１－３］。在控制系...

下载价格：3 金币 / 发布人：情深不寿ゞ / 发布时间：2018-08-27 / 479人气

文章编号 1005 - 2046 2000 04 - 0171 - 06收到日期 2000204207作者简介闵靖 1941～ , 男 , 教授级高级工程师 1硅中的缺陷和硅片热处理闵靖 , 邹子英上海市计量测试技术研究院 , 上海 200233摘要本文评述了近年来着重研究的 C

下载价格：3 金币 / 发布人：索比杜金泽 / 发布时间：2018-08-21 / 720人气

文章编号 1005- 20462000 04- 0171- 06收到日期 2000 04 07作者简介闵靖 1941 , 男 , 教授级高级工程师硅中的缺陷和硅片热处理闵靖 , 邹子英上海市计量测试技术研究院 , 上海 200233摘要本文评述了近年来着重研究的 COP、 L

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集成电路特征线宽的不断减小对直拉 CZ 单晶硅片中的缺陷控制和内吸杂技术提出了愈来愈高的要求。在这种情况下 ,基于氧沉淀的内吸杂工艺在不断地改进。国际著名的硅片供应商美国的 MEMC 公司近年来提出的基于快速热处理 RTP的内吸杂工艺 ,是一个有里程碑意义的突破...

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第 27 卷第 1 期2006 年 1 月半导体学报CHIN ESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORSVol. 27 No. 1Jan. ,20063 国家自然科学基金批准号 60076001 ,50032010 ,天津市自然科学基金和河北省自然科学基金资助项目通信作

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