不同氧化剂下 ALD沉积 Al2O3性能差异研究 报告人许佳辉 单位华东理工大学 目录 课题背景 实验研究 实验结果 分析讨论 课题背景 表面悬挂 键 复合中心 载流子复 合 漏电流增 加 少子寿命 下降 开路电压 下降 课题背景 减少表面复合 减少复合中心 化学钝化 这一方法的...
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