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超大规模集成电路用硅片产业化_刘浦锋

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超大规模集成电路用硅片产业化_刘浦锋（2页）

世界科学２０１３．６求、理想，刘浦锋早有所闻，“ 陈猛最打动人的是他的理想，他的理想就是在中国做自己的 8 英寸、 12英寸的集成电路硅片。这种硅片是目前中国最欠缺的，国家投入巨资在本领域进行产业化的研发，但迄今为止仍然只有两 ...

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超大规模集成电路制造中硅片平坦化技术的未来发展

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超大规模集成电路制造中硅片平坦化技术的未来发展（10页）

超大规模集成电路制造中硅片平坦化技术的未来发展作者郭东明，康仁科，苏建修，金洙吉作者单位大连理工大学机械工程学院 ,大连 ,116024刊名机械工程学报英文刊名 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING年，卷期 2003， 3910引用

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超大规模集成电路硅片溶液清洗技术的进展

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超大规模集成电路硅片溶液清洗技术的进展（6页）

收稿 1999 年 4 月 , 收修改稿 1999 年 5 月3 通讯联系人超大规模集成电路硅片溶液清洗技术的进展张树永 3 郭永榔山东大学化学学院济南 250100曹宝成于新好山东大学光电子材料与器件研究所及国家电子清洗技术研究推广中心济南 250100摘要本文综述了超大规模集...

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