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下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-21 / 340人气
Semiconductor Technology Vol. 29 No. 8August 2004 531 引 言随着 ULSI 技术的不断向前发展,对半导体硅的表面性质要求也越来越严格。 而且电路的集成度日益提高,单元图形的尺寸日益微化,污染物对器件的影响也...
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