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光伏PECVD技术专题分享
光伏PECVD技术专题分享
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光伏技术
PEVCD
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PEVCD技术分享
2019-08-19
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PECVD相关资料-李文
PECVD ----- 李文 2010-5 第1章 PECVD 原理 1.1 减反射膜光学原理 1.2 PECVD 沉积原理 1.2.1 等离子体概述 1.2.2 薄膜沉积理论 第2章 PECVD
2019-08-19
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PECVD设备工艺异常汇总
PECVD 工艺异常问题汇总 序 号 工艺异常现 象 解决方案 注意事项 1 PE 片子折射率偏高或 偏低 1.检查硅烷和氨气流量计是否损坏。 2.并分别更换硅烷和氨气流量计进行 测试,判断硅烷或
2019-08-19
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管式 PECVD 流量对太阳电池氮化硅膜影响的工艺研究 来源:深圳市大族光伏科技股份有限公司 作者 :李军阳 时间: 2011-09-19 氮化硅膜作为晶体硅太阳能电池减反射钝化膜是目前太阳能电
2019-08-19
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精曜科技高效异质结HJT电池 量产关键设备-PECVD与RPD
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2019-08-19
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PECVD工艺程序说明2.0
centrotherm CESAR Recipe Description PECVD SiNx Deposition Version 2.0 Reg97, CAN EFM CESAR Recip
2019-08-19
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PECVD制备氮化硅薄膜的研究进展
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2019-08-19
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氮化硅薄膜的PECVD生长及其性能研究
© 1994-2007 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved. http://w
2019-08-19
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等离子增强化学气相沉积(PECVD)的工艺流程的毕业设计/论文
2019-08-19
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PECVD制备多层氮化硅减反膜的工艺研究
2019-08-19
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基于掺杂PECVD硅膜的钝化接触的N型高效硅太阳膜电池
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专题作者:
王保平
最近更新:2019-08-19 13:51
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