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单晶硅准方片技术规格

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单晶硅准方片技术规格

卡姆丹克公司 公司地址上海南汇工业园区园迪路 16 号 邮编201314 电话86 216804 3010 传真 86 216804 3332 E-mailsalescomtecsolar.com 单晶硅准方片技术规格 项目 规格编号 NO. ITEMS SPECIFICATIONS 单位 UNITS 拉制方式 1 Growing Method CZ 材 料 单晶硅 2 Material Monocrystalline Silicon 导电类型掺杂剂 3 Type Dopant P/B or P/Ga 硅片尺寸 125*1250.5 156*1560.5 4 Wafer Size (见附图 1) See Figure 1 mm 直径 5 Diameter 1500.5 2000.5 mm 垂直度 6 Perpendicularity 900.3 厚 度 7 Thickness 20020 μm 总厚度变化 8 TTV ≤ 30 μm 电阻率 9 Resistivity A 0.5 ≤ ρ 3 B 3 ≤ ρ 6 Ωcm 少子寿命 10 Minority Carrier Life ≥ 10 μs 晶向 11 Orientation <100> 2.0 位错密度 12 Dislocation Density ≤ 3000 pcs/cm2 氧含量 13 Oxygen Content ≤ 1*1018 ASTM F121-83 atoms/cm3 碳含量 14 Carbon Content ≤ 5*1016 ASTM F123-83 atoms/cm3 崩边 深度 Depth ≤ 0.3mm,长度 Length ≤ 0.5mm 15 Edge Defect 最多 2 处 Max 2 pieces 沾污 无 16 Contamination Area None 线痕 17 Saw Mark ≤ 20 μm 翘曲度 18 Warpage ≤ 50 μm 硅片型号 尺寸mm Dimension A B C D Wafer Type Max Min Max Min Max Min Max Min 125 I 125.5 124.5 150.5 149.5 84 82 31 29 125 II 125.5 124.5 165.5 164.5 109 107 13 11 156 I 156.5 155.5 200.5 199.5 126 124 23 21 156 II 156.5 155.5 203.5 202.5 131 129 19 17

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