1200#树脂金刚石砂轮背磨 IC硅片的表面质量研究作者 李克华 , 赵延军 , 史冬丽 , 丁春生作者单位 郑州磨料磨具磨削研究所 郑州 450013引用本文格式 李克华 . 赵延军 . 史冬丽 . 丁春生 1200#树脂金刚石砂轮背磨 IC硅片的表面质量研究 [会议论文]2010
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第 4 3 卷第 1 1 期2 0 1 4 年 1 1 月 光 子 学 报A C T A P H O T O N I C A S I N I C AV o l . 4 3N o . 1 1N o v e m b e r 2 0 1 4基金项目 江西省光伏科技重大专项计划课题 ( N o . 2 0
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