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下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-21 / 211人气
硅片超声波 清洗技术在半导体材料的制备过程中,每一道工序都涉及到清洗,而且清洗的好坏直接影响下一道工序,甚至影响器件的成品率和可靠性。由于 ULSI 集成度的迅速提高和器件尺寸的减小,对于晶片表面沾污的要求更加严格, ULSI 工艺要求在提供的衬底片上吸附物不...
下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-21 / 226人气
超声波感应器的设定一, 故障现象超声波传感器感应不到硅片,比如 buffer 进口第一个超声波传感器若感应不到硅片,或灵敏度较弱的话,硅片到达传感器处,皮带就不会加速,导致后面的硅片和前面的硅片撞在一起而卡片。二, 超声波感应器如下图1,测试传感器灵敏度是否...
下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-15 / 288人气
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