Safety Manual CYCLONE TM PLUS JUSUNG Engineering Co., Ltd. Page Revision 1.0 1-1 User’s ManualPreliminary World’s Best People, World’s Best Products,
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 574人气
PECVD 工艺腔加热功率调整方法说明 张小亮 2013-08-08 工艺腔加热模块组成简述 调整方法说明 加热功率对工艺腔温度分布的影响 工艺腔加热模块组成简述( 1) 加热板内部加热电阻结构如下 加热电阻 1----1A 加热电阻 2----2A 加热电阻 3----3A 工艺腔加热板分布如
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 399人气
点击查看更多“PECVD工艺程序说明1.0”精彩内容。
centrotherm CESAR Recipe Description PECVD SiNx Deposition Version 2.0 Reg97, CAN EFM CESAR Recipe Description PECVD SiNx 03.11.2009 © centrotherm 1
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 698人气