实验部分第一步清洗硅片将硅片分别用丙酮和乙醇超声清洗不少于 10 分钟, 除去表面有机物。再将经上述处理的硅片放入体积比为 31 的 H 2SO4、 H2O2 溶液中加热煮沸 10 分钟,进一步去除有机物,最后用 HF 酸洗去除硅片表面氧化层。第二部将硅片取出并迅速放入的 4.6m...
下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-17 / 209人气