硅片传输定位机器人的设计 张士军 1,金洙吉,康仁科,丛明(大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连 116024)摘要 本文针对大直径硅片的高速自动化生产对硅片的高效、高精度、高可靠性传输要求,确定基于 3 自由度的 R-θ型硅片传输定位机器人方案,...
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文章编号 1002 20446 2007 0320261 206面向 IC制造的硅片机器人传输系统综述 3丛 明 , 杜 宇 , 沈宝宏 , 金立刚大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 , 辽宁 大连 116024 摘 要 介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统 ,综述了其主要组成
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