第 53 卷 第 3 期2014 年 5 月中山大学学报 ( 自然科学版 )ACTA SCIENTIAR UM NATUR ALIUM UNIVER SITATIS SUNYATSENIVol. 53 No. 3May 2014硅片不同表面钝化工艺的稳定性研究 *曾湘安 , 艾 斌 , 邓幼俊 ,
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硅片经过不同工序加工后, 其表面已受到严重沾污, 一般讲硅片表面沾污大致可分在三类A. 有机杂质沾污 可通过有机试剂的溶解作用,结合超声波清洗技术来去除。B. 颗粒沾污 运用物理的方法可采机械擦洗或超声波清洗技术来去除粒径 ≥ 0.4 μ m颗粒,利用兆声波可去除 ...
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第 37 卷 第 2 期 电 子 元 件 与 材 料 V ol.37 No.2 2018 年 2 月 ELECTRONIC COMPONENTS AND MATERIALS Feb. 2018 不同光谱响应太阳能电池测试差异性研究 王少熙 , 杜幸芝 , 樊晓桠 (西北工业大学 软件与微电子学院,
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