36 www.pv-tech.org前言对于实验室高效硅太阳能电池而言,可以通过采用热氧化(≥ 900℃) SiO 2生长工艺来抑制载流子在表面的复合 [1] 。特别是在轻掺杂的背表面,可以达到非常低的表面复合速率( SRV)水平。背表面处,热氧化生长的 SiO 2层结合蒸镀的 Al膜,在经...
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http//www.paper.edu.cn - 1 - 中国 科技论文在线化学液相沉积 Al 2O3 薄膜钝化 p 型黑硅 李永祥,郭婉,孙平杨,李葛亮,刘爱民 **基金项目 国家高技术研究发展项目( 863 项目)( Grant No 2011AA050516 )作者简介 李永祥,( 1988
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华东理工大学 East China University of Science And Technology TALD-Al2O3/PECVD-SiNx叠层 钝化增益、损失及修复研究 新能源材料与器件教研组 李士正 2018年 11月 9日 主要内容 1· 背景介绍 2· 实验及表征 3· PE 过
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