硅晶片的超精密加工摘要 归纳总结了硅晶片的加工原理、加工方法,分析加工硅晶片的技术要求其精密制造过程,并通过对国外技术装备的分析,指出硅晶片高效精密加工技术的发展趋势。关键词 硅晶片 超精密加工 磨削 抛光前言硅是具有金刚石晶体结构,原子以共价键结合...
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收稿日期 2003-12-08; 定稿日期 2004-01-20文章编号 1004-33652004 05-0565-04VG 202MKII 精密硅片减薄机调试技术陈洪波 , 熊化兵 模拟集成电路国家重点实 验室 ; 中国电子科技集团公司 第二十四研究所 , 重庆 400060摘 要 VG
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2006 年 12月总第 156 期 第 6期金刚石与磨料磨具工程D iamond 精密切割 ;游离磨料多线锯 ;固着磨料多线锯中图分类号 TF125. 3 文献标识码 AProgress of m ulti - w ire saw for prec ision slic ing of sili c
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