拟制 审核 批准 日期 部门单位东磁太阳能 第 1 页 共 8 页 版本A1.1 编号Q/DM18 技 8.01-2010 PECVD 工艺文件 1. 原理 4.1 PECVD 技术原理 PECVD 等离子体增强化学气相沉积,是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离 子体,而等
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 446人气