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基于智能剥离技术的 SOI材料制备作者 舒斌 , 张鹤鸣 , 朱国良 , 樊敏 , 宣荣喜 , Shu Bin , Zhang He-Ming, Zhu Guo-Liang, Fan Min, Xuan Rong-Xi作者单位 西安电子科技大学微电子学院 ,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室 ,
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