2.3 硅片表面沾污杂质的来源和分类分类依据 沾污类别沾污杂质的形态 微粒型污质,膜层污染质吸附力的性质 物理吸附型杂质。化学吸附型杂质被吸附物质的存在形态 分子型,原子型,离子型吸附杂质物化性质 有机沾污,无机盐,金属离子(原子)和机械微粒等2.4 硅片清洗...
下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-21 / 340人气