硅片脏污问题研究太阳能硅片切割完毕后,在对硅片进行清洗后,会出现硅片表面脏污的情况,影响了硅片外观质量,同时也会影响后续工序的加工。本文主要对脏污片的类型及其产生原因进行了分析。1. 引言硅片清洗工序是将线锯机床切割完毕的硅片从玻璃上脱离下来,将胶条...
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硅片脏污清洗分析报告一、硅片表面污染硅片表面的最外层即为吸附层,是氧化层与环境气氛的界面,吸附一些污染杂质,这些沾污可以分为分子、离子、原子、或者分为有机杂质、金属和粒子,如下图 1 所示。图 1 硅片表面污染示意图二、清洗工艺程序吸附在硅片表面上的杂...
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