第十一章 硅片制造中的沾污控制为使芯片上的器件功能正常,避免硅片制造中的沾污是绝对必要的。随着器件关键尺寸缩小,对沾污的控制要求变得越来越严格。将学习硅片制造中各种类型的重要沾污、它们的来源以及怎样有效控制沾污以制造包含最小沾污诱生缺陷的高性能集成...
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