水冷套对直拉法单晶硅生长过程 氧杂质输运的影响 齐小方 1,2,马文成 1 1 江苏大学 能源与动力工程学院 2 江苏环太集团 包头美科硅能源有限公司 Emailxfqiujs.edu.cn 2020.11.6 无锡 2020 第十六届中国太阳级硅及光伏发电研讨会 1.研究背景 CZ单晶硅中氧杂
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