300mm 硅片技术发展现状与趋势 周旗钢(有研半导体材料股份有限公司,北京 100088)摘要 综合评述了 300 mm 硅材料在晶体生长、硅片成形、表面质量控制、衬底优化以及表征等方面的研究现状和发展趋势,特别是国内在 300mm 硅技术研究中所获得的一些成...
下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-21 / 381人气