PECVD考试试题一、单选1、当膜厚由薄逐渐变厚时,膜的颜色变化过程( )A、红色→深蓝→蓝色 B 、深蓝→淡蓝→蓝色C、淡蓝→蓝色→深蓝2、当折射率较大时,工艺调整时需( )A 、增大硅烷通量B 、减小氨气通量C 、减小硅烷通量3、工艺运行过程中,当左侧膜厚偏小,右...
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