基金项目 江苏省高校科研成果产业推进工程计划项目J HZD06242硅片纳米微粒清洗洁净新技术张慧 , 成立 , 韩庆福 , 严雪萍 , 刘德林 , 徐志春 , 李俊江苏大学 电气与信息工程学院 , 江苏 镇江 212013摘要 随着半导体技术的不断发展 , 集成电路的线宽正在不断减小 , ..
下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-15 / 270人气