瑞能科技技术设计说明瑞能科技技术设计说明1 全自动太阳能硅片去磷硅玻璃清洗机说明无锡市瑞能科技有限公司一. 总述全自动去磷硅玻璃清洗机用于太阳能硅晶片在扩散后的处理。机器共分机架、工作槽、上下料部件、机械手、喷淋系统、电气系统、气动系统、风道及管道等...
下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-17 / 391人气
1/5 等离子刻蚀漂洗工艺操作规程一、工作目的1.1 等离子刻蚀采用等离子刻蚀去除硅片边缘的 N 型层,防止边缘形成短路。1.2 去磷硅玻璃利用 HF 能够溶解二氧化硅的特性,去除硅片表面由于扩散工艺造成的含磷二氧化硅( PSG) 。二、工艺原理2.1 等离子刻蚀等离子体刻...
下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-17 / 385人气