工业生产中清洗液温度对硅片颗粒度的影响张倩 熊诚雷 齐旭东 史舸 崔小换(洛阳麦斯克电子材料有限责任公司 洛阳 471009)摘要介绍了 RCA 清洗液组成、特点及原理 ;研究在不同温度下, RCA 清洗的SC-1 溶液对颗粒去除的影响,得出工业生产中较合适的清洗温度。关键字...
下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-15 / 408人气