PECVD等离子增强化学气相淀积 Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition 一、镀膜原理 二、管式 PECVD 镀膜的各工艺参数具体控制范围 三、PECVD 膜的作用、简述膜的特性。 四、常见的异常情况 一、镀膜原理 所谓等离子体,是指气体在一定条件下受到高
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 463人气