第 42 卷 第 9 期2015 年 9 月天 津 科 技 TIANJIN SCIENCE TECHNOLOGY Vol.42 No.9Sep. 2015收稿日期 2015-08-09 应用技术 倒角砂轮使用寿命研究陶术鹤 中国电子科技集团公司第四十六研究所 天津 300220摘 要 在硅片倒
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1200#树脂金刚石砂轮背磨 IC硅片的表面质量研究作者 李克华 , 赵延军 , 史冬丽 , 丁春生作者单位 郑州磨料磨具磨削研究所 郑州 450013引用本文格式 李克华 . 赵延军 . 史冬丽 . 丁春生 1200#树脂金刚石砂轮背磨 IC硅片的表面质量研究 [会议论文]2010
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