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下载价格:10 金币 / 发布人: 盲者 / 发布时间:2022-11-22 / 18人气
促进硅片表面清洗干净均匀装置的开发(一) 技术领域本实用新型涉及半导体硅片清洗干净均匀的机构。(二) 背景技术在半导体体硅片超声波清洗机构中,超声波能量均匀的作用到硅片表面上,以更好的对硅片表面起到干净均匀的清洗效果。但是在现有的硅片超声波清洗机构...
下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-21 / 339人气