硅片的几何参数及测试_孙晓波 （3页）

2012 第 6 期 总第 211 期现 代 制 造 技 术 与 装 备引言随着 IC 工艺 、 技术的不断发展， 硅片的产量越来越大（见表 1） ， 直径尺寸越做越大 （见图 1） ， 厚度越做越薄 。随着大规模集成电路 、 超大规模集成电路和特超大规模集成电路的发展，对硅片的质量特征...

下载价格：3 金币 / 发布人： 索比杜金泽 / 发布时间：2018-08-21 / 357人气