湿法刻蚀硅片v型槽 （2页）

用湿法刻蚀的方法在硅片上做连续 V型槽图 l 硅片 v型槽示意图图中 V 型槽的两个斜面为 111晶面， 底面为 100晶面。 由晶体结构学原理可以知道， 111晶面与 100 晶面的夹角为 54． 74°。在（ 100）硅片上，沿着（ 110）方向腐蚀时可以暴露出倾角为54.74°的（ 111）面

下载价格：3 金币 / 发布人： 索比杜金泽 / 发布时间：2018-08-21 / 343人气