1 一、计算倒角硅片的面积Calculate the area of pseudo-square wafer 边长 W 125 mm 对角 D mm 倒 圆角 时面积148.5799 cm2Calculate边长 A 156 mm 对角 B 200 mm 倒 直角 时面积239.1093 cm2Ca
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第 42 卷 第 9 期2015 年 9 月天 津 科 技 TIANJIN SCIENCE TECHNOLOGY Vol.42 No.9Sep. 2015收稿日期 2015-08-09 应用技术 倒角砂轮使用寿命研究陶术鹤 中国电子科技集团公司第四十六研究所 天津 300220摘 要 在硅片倒
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