硅片产品规格说明书一、目的和用途加强对硅片的供方管理和质量管理二、适用范围适用于 125 125 单晶, 156 156 多晶硅片三、各项指标项目 方法 标准 工具外包装SF/03-JY-026 外包装完整,防摔、污、潮的措施完备 目测外形尺寸125 125 或 156 156 见方尺寸允许误差±
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中国电子科技集团公司第二研究所 全自动硅片装片机使用说明书中国电子科技集团公司第二研究所 www.ersuo.com GZP- 2A 全自动硅片装片机 使用说明书中国电子科技集团公司第二研究所 二〇〇九年十二月CHINA ELECTRONICS TECHNOLOGY GROUP GORPORATIO
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促进硅片表面清洗干净均匀装置的开发(一) 技术领域本实用新型涉及半导体硅片清洗干净均匀的机构。(二) 背景技术在半导体体硅片超声波清洗机构中,超声波能量均匀的作用到硅片表面上,以更好的对硅片表面起到干净均匀的清洗效果。但是在现有的硅片超声波清洗机构...
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