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光刻工艺认识实验报告一、光刻工艺操作1.硅片清洗和表面处理这个步骤由助教老师完成。所用硅片尺寸 2 英寸,厚度为 400μ m,单面抛光。掺杂类型 p 型。2.涂胶匀胶机第一、二级转速和各转速的运转时间由助教提前设置好。分别为 第一级转速 500n/min, 时间为 3 秒; ...
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光刻实验一.实验目的了解光刻在集成电路工艺中的作用,熟悉光刻工艺的步骤和操作。二.实验原理光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术, 它先采用照像复印的方法,将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的 SiO2 层或金属蒸发层上,在适当波长光...
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第 1 页1 绪论在微电子制造技术中,最为关键的是用于电路图形生产和复制的光刻技术,光刻技术的研究与开发,在每一代集成电路技术的更新中都扮演着技术先导的角色。目前国际微电子领域最引人关注的热点,就是即将到来的光刻技术变革,这一变革将对整个微电子制造技术...
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单晶硅 多晶硅 非晶硅-7 -0.035 -0.036 -0.036-6 -0.03 -0.03 -0.03-5 -0.025 -0.025 -0.025-4 -0.02 -0.02 -0.02-3 -0.015 -0.015 -0.01-2 -0.01 -0.01 -0.01-1 -0.005 -
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太阳能电池接地系统的设计技术在太阳能发电系统中, 把薄膜组件正负极一端接地, 可以提高组件寿命, 配合逆变器控制,系统也更加安全。有证据显示,晶体硅接地,也可以取得相同的效果。1、太阳能电池板接地的用途( 1)减轻晶体硅光伏组件的电位诱发衰减( PID)效...
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太阳能电池资料目 录1 太阳能发电方式类型 12 太阳能电池发电原理 12.1 光伏电池发电原理 . 12.2 光热电池发电原理 . 23 太阳能电池的种类及其特点 . 33.1 太阳能光伏电池的种类及其特点 33.1.1 单晶硅电池 33.1.2 多晶硅电池 43.1.3 薄膜太阳能电池 . 43
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多结太阳能电池制备技术太阳能光伏技术经过近几十年的发展, 已经在新能源领域确立了其重要地位。 大力发展太阳能光伏发电已成为人类解决未来能源问题的重要途径。 在产业界, 当前太阳能技术的重点仍是硅太阳能电池,包括多晶硅和非晶硅薄膜电池等。由于多晶硅和非...
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高倍聚光光伏 HCPV 电池作为第三代太阳能发电技术正逐渐成为太阳能领域的新焦点经过 30 多年的发展,高倍聚光光伏 HCPV 电池作为第三代太阳能发电技术正逐渐成为太阳能领域的新焦点, 引起了行业内企业的追逐。 在日光照射较好的几个欧美国家,已通过了优惠的上网电...
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光源对于太阳能电池基本特性测量实验影响的研究作者 吴杏华 , 王庆凯 , 王殿元 , WU Xing-hua, WANG Qing-kai, WANG Dian-yuan作者单位 九江学院理学院 ,江西九江 ,332005刊名 九江学院学报英文刊名 JOURNAL OF JIUJIANG UNIVE
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