硅片中金属镍的沉淀和稳定

第 16卷第 1期 材 料 科 学 与 工 程 总第 6 1 期V o 1116N o 11 M aterials Science 38- 41 12 T. Ho soya, Y. O zaki , K. H irata , J. Electrochem .Soc. 1985; 132 24363 E. R. W eber , A pp l. Phys. A , 1983; 30 14 s. p. M urarka , Silicides fo r VL S I A pp lication , A ca2dem ic, O rlando , 1983, P. 985 M . Seibt, K. Graff , M RS P roc, 1988; 104 2156 M . Seibt, K. Graff , J. A pp l. Phys. , 1988; 63 44447 F. R iedel, J. K ronew itz, U. Gnauevt , M . Seibt andW . Schroβ ter, Solid State Phenom ena, 1996; 47 -48 3598 M . P. K ittler , J. L aβ rz, W. Seifert , M . Seibt , W .Sch roβ ter , A pp l. Phys. L ett. , 1991; 58 911上接第 52 页 子链的运动性增加 。第二 , P I 高分子链必须有足够的时间取向 , 才易于形成低剪切强度的表面层 。 如果滑动速度过快 , P I 高分子链来不及取向而易断裂 ,则导致大块磨屑的产生和很高的磨损 。六 、 结 论综上所述 , 315 ℃下 , P I 固体润滑膜仍具有优异的粘结性 [15 ] 和低摩擦磨损性 , 尤其在真空下摩擦磨损性能更好 , 因而在航空航天领域的摩擦学系统中具有广阔的应用前 景 。但迄今为止 , 国内外对 P I 固体润滑膜的应用报道还较少 , 且主要以专利形式出现 [16, 17 ] , 因此我们应加强对 P I 固体润滑膜的应用基础研究 , 弄清楚不同种类的 P I 固体润滑膜在实际应用中的摩擦磨损特性 , 为扩大 P I 固体润滑膜的广泛使用提供科学依据 。参 考 文 献1 Fuasro R L , Sliney H E. A SL E T rans. , 1973, 161892 Fuasro R L , Sliney H E. NA SA TND 26714, 19723 Todd N W , W olff F A . M aster. D es. Eng. 1964,60 2 864 Fusaro R L. NA SA T P21125, 19785 Fusaro R L. L ubr. Eng. , 1980, 36 3 1436 Sroog C E, Endrey A L , A bramo S V . J. Po lym.Sci. P t. A , 1965, 4 13737 H eacock J F, Berr C E. SPE T rans, 1965, 5 2 105- 108 Fusaro R L. A SL E T rans. , 1982, 25 4 4659 Fusaro R L. A SL E T rans. , 1981, 24 2 19110 Fusaro R L . T ribo logy T rans. , 1988, 31 2 17411 Fusaro R L . A SL E T rans. 1978, 21 2 12512 Ch isaz2Zadeh M R , Eiss, Jr N S. W ear, 1986,110 35913 Fusaro R L . W ear, 1982, 75 40314 Fusaro R L . A SL E T rans. , 1977, 20 1 115 Fusaro R L . NA SA TM 81381, M arch 198016 Kaneko I, Sugitani A . Jpn. Kokai Tokkyo Koho JP06, 100, 714[ 94, 100, 714 ], 199217 O kada K , Oo ta Y. Jpn. Kokai Tokkyo Koho JP 07,179, 755[ 95, 175, 755 ], 199395 1995-2005 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved.