全自动硅片超声清洗机

- 全自动硅料清洗机技术说明书- 1.概述1.1 设备概要A．清洗对象 多晶边皮，顶料，片料，埚底料以及原生多晶料等B．材质 Si C．生产能力 240Kg/hr D．节拍 20min/ 篮 用户自定，可调 E．清洗篮外形有效尺寸 L730 * W410 * H200 （ mm ）F．清洗篮装载能力 80Kg / 篮G．清洗介质碱、酸、水1.2 设备组成该设备主要由上料台、清洗部分、移载机械手、旋转机构、抽风系统及电控部分组成。设备走向方案图按 “左进右出”方式， 客户自选 工件由作业员在左边上料，经清洗后，作业员在右边下料。1.3 设备描述1. 此装置是一个全自动的处理设备。2. 10.4 英寸大型触摸屏显示 / 检测 / 操作。3. 清洗工作过程由 欧姆龙系列 PLC 控制。4. 清洗作业员将装满工件的清洗篮放置在进料台上，清洗篮根据设定的程序，自动依次送到各工位，对工件进行清洗、漂洗，漂洗后的工件由链条传输到下料位，由链条送出，最后由作业员将清洗篮取走。1.4 设备基本动作分析→欲处理工件装篮放于上料台上，通过链条传送，经上料位置上料→经过机械手传输到各清洗槽进行处理→由下料工位输入下料位，→将已经处理过的工件人工转移- 2.工艺流程2.1 被清洗物硅料 多晶边皮，顶料，片料，埚底料以及原生多晶料等2.2 工艺流程上料平台浸泡超声清洗超声清洗碱液清洗纯水清洗酸液清洗纯水清洗射流漂洗下料平台溢流回流溢流回流1 2 3 4 5 6 7 8 纯水清洗9 溢流回流- 2.3 工艺细节 工序名称 方式 介质 温度 时间加热功率1 浸泡 鼓泡 快排 旋转 纯水 RT 20min 2 超声波清洗超声波 2.4kW /40kHz 鼓泡 旋转纯水 50℃ 5℃ 20min 9kW 3 超声波清洗超声波 2.4kW /40kHz 鼓泡 旋转纯水 50℃ 5℃ 20min 9kW 4 超声波碱液清洗超声波 2.4kW /40kHz 鼓泡 旋转 循环纯水 50℃ 5℃ 20min 9kw 5 纯水清洗 鼓泡 旋转 溢流 碱液 40℃ 5℃ 20min 9kw 6 酸洗 鼓泡 旋转 酸液 RT 20min 7 纯水漂洗 鼓泡 旋转 溢流 纯水 RT 20min 8 纯水漂洗 鼓泡 旋转 溢流 纯水 RT 20min 9 纯水漂洗 鼓泡 旋转 溢流 纯水 RT 20min 注各清洗槽加热功率按预热升温 40 分钟计 温升 50℃ - 3.设备技术参数3.1 清洗工件要求3.1.1 名称 晶棒3.1.2 材质 Si 3.1.3 节拍 20min/ 篮（每篮放 1 根晶棒）3.1.4 清洗篮外形尺寸 L730 * W410 * H200mm 以实际设计为准 3.1.5 清洗篮负荷重量 max100kg 3.2 设备基本要求3.2.1 设备形式室内放置型3.2.2 机械手平移速度 1016 m / min 3.2.2 电源 80kWmax ， 以最终设计为准 三相 380 10 ， 50Hz（ 5 线制） ,操作控制回路 DC24V 3.2.3 生产能力 240pcs/h （节拍 20min/ 篮 , 每篮一根晶棒 ）3.2.4 电气性能 E 级，并有良好的接地，抵抗 500M Ω 以上3.2.5 会对人体造成伤害的部分须安装安全门或安全保护罩，有人员作业岗位使用双开关启动作业，易对人造成伤害部分设置光电安全门3.2.6 非常停止开关设置在各操作控制箱的表面须设置非常停止开关，作业岗位操作开关旁须明显设置有非常停止开关3.2.7 压缩空气压力 5 0.5kgf /cm 2，接管口径 1/2″3.2.8 环境要求空气温度 5-40℃ 相对湿度﹤ 90 3.2.9 主铭板包括设备名称，型号，厂家，出厂编号，出厂日期，简要电气参数等3.2.10 控制面板铭板包括装置名称，各开关动作标注等3.2.11 部件标注铭板包括各部件的名称，气体及液体流动方向等3.2.12 涂装要求各部分使用耐腐蚀性涂料涂 2 回以上，表面涂装光洁无凸点等3.3 控制系统主要功能3.3.1 欧姆龙系列 PLC 控制，彩色触摸屏操作3.3.2 报警、设备各项参数检测- 3.3.3 具备低水位保护功能3.3.4 自动手动转换开关3.3.5 加热器、马达等开关3.3.6 清洗时间、温度、传动速度调节器3.3.7 紧急停止开关3.3.8 设备状态指示灯设备要有明确的指示灯显示设备运转状态4 设备基本组成4.1 本设备是一个全自动的处理设备， 工作过程由欧姆龙系列 PLC 控制。 设备主要由以下几部分组成。移载机械臂清洗本体上下料台控制电柜4.2 移载机械臂4.2.1 升降部分刹车马达 西门子伺服电机滚珠丝杆 SFU3520-4 附图 直线导轴 SFC30 φ 30 带座直线轴承 SC30uu 负荷 100kg 4.2.2 平移部分刹车马达 西门子伺服电机齿轮、齿条 模数 m2.5 带座直线轴承 SBR30UU 导轨 SBR30S2 4.3 清洗本体- 4.3.1 纯水浸泡工位位置 1槽处理方式 鼓泡 旋转 快排时间 自定鼓泡 CDA 处理液 纯水槽材质 2mmSUS316 温度 RT 时间管理 有触摸屏直接管理时间功能包括显示时间 / 设定时间 / 报警时间控制范围 1 秒溢流 1槽溢流排走4.3.2 超声波清洗工位位置 2、 3槽处理方式 超声波 鼓泡 旋转时间 自定处理液 纯水槽材质 2mmSUS316 处理温度 50℃ 5℃时间管理 有触摸屏直接管理时间- 功能包括显示时间 / 设定时间 / 报警时间控制范围 1 秒超声波 2.4kW ， 40kHz. 温度管理 OMRON温度控制器电子控制4.3.4 碱液清洗工位位置 4槽处理方式 超声波 旋转 循环处理液 碱液处理温度 50℃ 5℃ （可调）加热方式 不锈钢在线加热器直接加热加热功率 9KW （ 4.5kW/ 支）槽材质 2mmSUS316 超声波 2.4kW ， 40kHz. 溢流 回循环槽4.3.5 温水漂洗工位位置 5槽处理方式 旋转 鼓泡 溢流处理液 纯水处理温度 50℃ 5℃加热方式 板式加热器加热功率 9KW （ 4.5kW/ 支）槽材质 PP-N 溢流 排掉4.3.6 酸洗槽- 位置 6槽处理方式 鼓泡 旋转处理液 酸液处理温度 RT 槽材质 PVDF 时间管理 有触摸屏直接管理时间功能包括显示时间 / 设定时间 / 报警时间控制范围 1 秒4.3.7 纯水漂洗槽位置 7、 8、 9槽处理方式 鼓泡 旋转 溢流处理液 纯水处理温度 RT 槽材质 PP-N 时间管理 有触摸屏直接管理时间功能包括显示时间 / 设定时间 / 报警时间控制范围 1 秒- 4.4 上料台马达 S9R90GXH-CE ， SPG 牙箱 S9KC100BH-S ， SPG 胶链条 3/4“胶链条外形尺寸 L1500*W812*H883 4.5 电控柜欧姆龙系列 PLC 控制E-VIEW 10.4 英寸大型触摸屏显示 / 检测 / 操作报警、设备各项参数检测具备低水位保护功能自动手动转换开关清洗时间、温度、传动速度调节紧急停止开关设备状态指示灯设备有明确的指示灯显示设备运转状态绿灯设备正常运转中黄灯机械手为原点位。红灯设备异常或故障- 5. 设备验收5.1 主要数据5.1.1 工件 晶棒54.1.2 材质 Si 5.2 验收测试5.2.1 设备在卖方工厂进行的初验收验收内容包括设备静态精度验收设备动态精度验收制品组装精度验收 / 加工节拍的验收5.3 最终验收5.3.1 最终验收内容包括本体外观的验收设备附件、备品备件等的验收设备稳定性验收连续生产 8 小时，无设备故障造成的停机安全验收标准按中华人民共和国安全标准- 6.技术服务6.1 聚晶公司 负责设备现场安装，并于安装前一到两周提供安装场地要求6.2 免费提供从调试之日起一年的技术支持及服务，终生维护6.3 提供设备相关硬件、软件升级服务。6.4 提供详细的操作、维护、应急处理培训，具体内容如下序号 内容 参与培训人员 开始时间 时间 备注1 设备原理、结构培训负责设备的电气及机械工程师在用户通电调试一周后2 天提供设备说明书及培训资料2 设备操作、应急处理、维修保养等培训负责设备的电气及机械工程师在用户通电调试一周后3 天提供设备说明书及培训资料3 设备原理、结构培训设备使用人员在用户通电调试三周后2 天提供设备说明书及培训资料4 设备操作、应急处理等培训设备使用人员在用户通电调试三周后3 天提供设备说明书及培训资料6.5 设备说明书 2 套；6.6 设备说明书内容包括 一般操作说明书 /消耗部品清单及相关图纸 /设定参数一览表/电气控制线路图 /程序控制图（ PLC 回路图、梯形图） /设备精度检查表 /易损件清单及图纸（或型号） /气动系统说明书 /设备整体结构说明书（含装配图册） /购入品使用说明书6.7. 通用技术规范6.7.1. 基本使用状况温度要求 538 ℃- 湿度要求 90 电源电压三相 380V 10 ， 50Hz 单相 220V 10 ， 50Hz（动力供给）操作控制回路 DC24V SOL AC100V 6.7.2. 标识主铭板 1 个控制面板铭板 1 套各控制元件，执行元件及检测元件必须在元件安装附近有明确标识。6.7.3. 设备状态指示每台设备有明确的指示灯显示设备运转状态A、绿灯设备正常运转中B、黄灯设备休止或其它C、红灯设备异常或故障6.7.4. 电气柜及线路要求电源进入前接入不小于最大负荷电流的空气开关和漏电开关。电气控制元件尽可能全部集中在总电气柜内，整齐有序排列。控制元件，执行元件与检测元件之间的连线尽量不经过中间分线器（必要时可采用分线箱） 。电气柜良好照明 （手动开关） ， 以方便维修及更换部件。 顺畅通风， 加装两个散热风扇，通风扇加装隔尘罩。电气柜门有可靠密封。电气柜内高低压电路要明显分界。不同电位采用不同颜色电线。接线端两侧接线码（白色整体线码，字体黑色打印） 。连接线长短适当，不太长或过短，预留备用接线电气柜及各分线箱内各元件之间留有足够维修空间。在电气柜内安装 220V 或 110V 电源插座各一个。6.7.5. 安全事项电气性能 E 级，并有良好的接地，抵抗 500M Ω 以上会对人体造成伤害的部分须安装安全门或安全保护罩，有人员作业岗位使用双开关启动作业，易对人造成伤害部分设置光电安全门非常停止开关设置在各操作控制箱的表面须设置非常停止开关，作业岗位操作开关旁须明显设置有非常停止开关。- 7.用户应配备项目7.1 在安装位置附近配有 1″带不锈钢球阀 DI 水出水口，流量 2000 l/HR 7.2 在安装位置附近配有 1/2″带不锈钢球阀压缩空气出口7.3 在安装位置附近配有 4″清洗废液排水口7.4 在安装位置附近配有 4″废液排水口7.5 在安装位置附近配有带开关的 380V 三相电源7.6 其它必须的