硅片碱液清洗机技术方案

1 / 8硅片碱液清洗设备技术方案书编 制 审 核会 签原料加工部 综合计划部 安环部质量检验部 人事行政部 财务部批 准 日 期 年 月 日呼和浩特市欧通能源科技有限公司2 / 8目 录一、系统要求 . 3二、清洗原理 . 3三、设备结构组成 . 3四、流程总述 . 4五、清洗工艺流程 . 4六、设备主要技术参数 . 51、热水压力喷淋清洗工位 . 52、碱液刷洗工位 . 53、压力喷淋漂洗工位 . 54、吸水辊吸水工位 . 65、风刀切液工位 . 6七、系统描述 . 61、上、下料装置 . 62、热水压力喷淋清洗工位、压力喷淋漂洗工位 . 73、碱液刷洗工位 . 74、吸水辊吸水工位 . 75、风刀切液工位 . 7八、安全防护 . 7九、清洁要求 . 7十、整机参数 . 7十一、设备配送技术资料 . 8十二、售后服务 . 83 / 8一、系统要求a 清洗对象硅片；b 线速度 0-4 米 / 分；c 清洗介质自来水、碱性硅片清洗剂；d 产量 2 吨 /8 小时二、清洗原理采用托辊双动力输送，上压辊利用机械高速辊刷法加碱性清洗剂将硅片上下表面的油墨及杂质去除， 然后利用高压水喷洗硅片表面， 将硅片表面残留的杂质及碱性清洗剂冲洗干净。三、设备结构组成该设备至少由上料工位、热水压力喷淋清洗工位、碱液刷洗工位、压力喷淋漂洗工位、吸水辊吸水工位、风刀切液工位、下料工位、加热温控系统、托辊输送系统、压辊定位系统、储液槽、无纺布过滤系统、机体框架及电气控制系统等组成。 示意图如下4 / 8四、流程总述首先人工将硅片摆在上料工位，由托辊输送系统将硅片输送至设备内部，在托辊和定位辊的输送下依次进入热水压力喷淋清洗工位、碱液刷洗工位、压力喷淋漂洗工位，硅片漂洗完成后通过吸水辊工位将硅片表面大部分的水分吸走，然后由托辊输入风刀切液工位，风刀切液工位将硅片表面残留的水气吹干，最后由托辊输送至下料工位的滑板上，硅片自动掉入下一工序的上料位。至此完成一个完整的清洗烘干流程。五、清洗工艺流程上料工位→热水压力喷淋清洗工位→碱液刷洗工位→压力喷淋漂洗工位→吸水辊吸水工位→风刀切液工位→下料工位序号 工序 有效尺寸约 清洗方式 温度控制 清洗介质 传送方式1 上料工位 L500 W600mm ---- ---- ---- 人工上料2 热水压力喷淋清洗工位 L420 W600mm 高压喷淋 40-50 ℃ 自来水 托辊传输3 碱液刷洗工位L1400W600mm 毛刷刷洗 40-50 ℃市水 碱性清洗剂托辊传输4 压力喷淋漂 洗工位 L420 W600mm 高压喷淋 常温 市水 托辊传输5 / 85 吸水辊吸水工位L350 W600mm ---- ---- ---- 托辊传输6 风刀切液工 位 L500 W600mm ---- ---- ---- 托辊传输7 下料工位 L200 W600mm ---- ---- ---- 滑板下料六、设备主要技术参数1、热水压力喷淋清洗工位有效尺寸 约 L420mm W600mm；材 质 采用非金属材料，如 PVC材质，厚度 10mm；结构形式上下各设三道喷淋装置；配储液槽一个，喷淋泵一台，喷淋泵功率 1.5KW，储液槽上方配无纺布用于拦截杂质；工件通过的上方设压辊定位系统；温度控制 储液槽内置加热管，加热功率约 6KW，加热温度约 50℃左右；液体流向 储液槽中的市水由循环泵分别注入三道喷淋装置，喷淋后的水溶液经过无纺布过滤后流回储液槽；2、碱液刷洗工位有效尺寸 约 L1400mm W600mm；材 质 槽体采用非金属材料，如 PVC材质，厚度 10mm；结构形式设上下两道刷洗装置，共 4 组刷辊，每组刷辊电机功率 1.5KW；配储液槽一个，循环泵一台，循环泵功率 1.5KW，储液槽上方配无纺布用于拦截杂质；工件通过上方设压辊定位系统；温度控制 储液槽内设加热管，加热功率约 6KW，加热温度 40-50℃；液体流向 储液槽中的清洗液经循环泵抽取进入碱液刷洗工位，碱液刷洗工位中的液体经无纺布过滤后流回储液槽；3、压力喷淋漂洗工位6 / 8有效尺寸 约 L420mm W600mm；材 质 采用非金属材料，如 PVC材质，厚度 10mm；结构形式上下各设三道喷淋装置；配储液槽一个，喷淋泵一台，喷淋泵功率 1.5KW，储液槽上方配无纺布用于拦截杂质；工件通过的上方设压辊定位系统；液体流向自来水直接注入第三道喷淋装置，经第三道喷淋后的水溶液经无纺布过滤后直接流进储液槽，储液槽中的水溶液由循环泵抽取后分别注入第一道和第二道喷淋装置，第一道和第二道喷淋后的水溶液由无纺布过滤后流回储液槽；储液槽中多余的水溶液通过溢流口直接排进废液管道。4、吸水辊吸水工位有效尺寸 约 L350 W600mm；材 质 采用非金属材料，如 PVC材质，厚度 10mm；结构形式 共设三道吸水辊；5、风刀切液工位有效尺寸 约 L500 W600mm；材 质 采用非金属材料，如 PVC材质，厚度 10mm；结构形式 封闭风刀室，高压风刀切液工位，上下风刀吹水，槽内设导风板，底部设集水盘，收集切下的清洗液；风机 配风机 1 台，风机功率 4KW；七、系统描述1、上、下料装置上料和下料均采用双动力传输辊，传动电机功率 0.75KW。下料端设计为带有一定坡度的滑板，以保证硅片能够自动滑落至下一工序。7 / 82、热水压力喷淋清洗工位、压力喷淋漂洗工位热水压力喷淋清洗工位和压力喷淋漂洗工位均设上下三道喷淋系统，喷淋清洗和漂洗过程中硅片上部均设有压辊定位系统，防止硅片漂浮。喷淋清洗时储液槽中设有加热管，采用温水喷淋有利于硅片表面的清洗。另外喷淋后的液体进入储液槽之前设有无纺布，能够有效将工件表面的杂质碎屑拦截，液体重复利用率有效提高。3、碱液刷洗工位碱液刷洗工位设上下两道刷辊，刷洗硅片上方时硅片下部设有托辊输送系统，刷洗硅片下方时硅片上部设有压辊定位系统，防止硅片漂浮。储液槽内设有加热管，采用温水加碱性清洗剂进行清洗，使硅片表面的油墨及杂质能够快速高效的去除。4、吸水辊吸水工位设三道吸水辊，该工位能够将硅片表面大部分的水分吸走。5、风刀切液工位吸水辊将漂洗完成后的硅片表面大部分的水分吸走后，硅片进入该工序，高压风通过风机从风刀吹出，将硅片表面残留的水份吹干。八、安全防护该设备所有转动部位、有压力意外释放部位、容易引发高温烫伤部位等，均应进行应有的防护，以及设置紧急停机装置。九、清洁要求该设备所涉及的水槽、滚刷等，均应做到便于拆卸清洁，以及清洁后各部件便于组装恢复。十、整机参数1、 设备外形尺寸约 L4500*W1000*H1180mm 2、 动力总功率约 15.25KW 3、 加热总功率约 12KW 4、 电源 380VAC/50Hz （三相四线＋地线）8 / 8十一、设备配送技术资料1、操作使用说明书（含安装、操作及维修）叁份；2、产品合格证明书（含产品合格证及保修卡）叁份。十二、售后服务1、设备制作方向现场施工人员提供所需的所有细节，以便准备现场安装。2、设备制作方应到用户工厂现场安装设备。3、设备安装期间，设备制作方为用户设备操作人员提供设备的操作、维护保养、紧急事故处理等技术培训。4、 设备交付使用后设备制作方无偿为用户提供为期一年的技术支持与服务， 无偿为用户提供非人为而损坏的设备零件。一年后设备制作方为用户提供终身技术服务。