硅片标准集合

检测项目 硅片厚度 A级片标准 物料编码 备注180um 任意点厚度在 180 18um，95中心点厚度在 180 10um 01190um 任意点厚度在 190 18um，95中心点厚度在 190um 10um200um 任意点厚度在 200 18um，95中心点厚度在 200 10um 02180um 任意点厚度在 180 18um，95中心点厚度在 180 10um 01195um 任意点厚度在 190 18um，95中心点厚度在 190um 10um 06200um 任意点厚度在 200 18um，95中心点厚度在 200 10um 02180um 任意点厚度在 180 18um，95中心点厚度在 180 10um 01190um 任意点厚度在 190 18um，95中心点厚度在 190um 10um200um 任意点厚度在 200 18um，95中心点厚度在 200 10um 026.5掺镓 200um 任意点厚度在 200 18um，95中心点厚度在 200 10um 02180um 任意点厚度在 180 18um，95中心点厚度在 180 10um 01190um 任意点厚度在 190 18um，95中心点厚度在 190um 10um200um 任意点厚度在 200 18um，95中心点厚度在 200 10um 02厚度总偏差翘曲线痕崩边、边缘应力色差尺寸未磨光倒角差污片电阻率 13Ω .cm， 36Ω .cm氧含量 [O] ≤ 20ppma碳含量 [C] ≤ 5ppma少子寿命 г ≥ 10μ s不允许有由于切片中引起的色差（参照样片）TTV≤ 30umwarp≤ 50um在正常检验条件下（正常灯光和方向）在客户特殊要求时，按客户要求执行ASTM 83 标准物理性能6掺硼156 156 200 8 掺硼单面线痕深度小于 15um，不允许在 1cm内有 5条以上允许周长＜ 1mm深 0.5mm的崩边数目不多于两个；深无6掺镓6.5掺硼125 125 150125 125 165FTIR检测尺寸、对角线公差 0.5mm无≤ 0.5mm不允许有可见的污点、污斑1、其中任意点厚度用 5点法测量（ 4个角点为离角边 10至15mm处和 1个中心附近），测量仪器为 MS203。2、针对