Fortix硅片筛选设备

韩国 FORTIX硅片筛选设备技术协议1. 该机台的外观图大致如下 , 这套系统主要由 Fortix， ICOS 和Semilab三家专业公司提供的产品组成2. FORTIX 整机自动化部分 ,例如硅片上下料 , 硅片传输 , 整个系统的整合2． 1 该机兼容性较好，可以用 125X125 和 156X156 两种尺寸的硅片 . 将来根据需要增加新的检测模组 ,操作维护方便 . 2． 2 该机的产量为≥ 1800pcs/h.，碎片率 180um）2． 3 上料用两个片盒，一次可装 300 片硅片2． 4 下料部分共有十二个盒子，有问题的硅片分别放到其中的八个盒子里，好的硅片放到其中的四个盒子里 片盒装满了之后机台可以自动更换 ；一个硅片可能有几个不良种类，可以设定重要性次序，优先放入重要性高的盒子，盒子由客户提供（印刷机所采用的那种） 。其中有缺陷的硅片主要分为以下八类 1 角度和尺寸 2）表面污染 3）崩边缺角 4）微裂纹5）少子寿命 6）电阻率 7）厚度 8） P/N 型3. ICOS 提供两个检测模组 ,一个是硅片外观检测模组 ,另一个是微裂纹检测模组3． 1 硅片外观检测模组的详细介绍如下 主要配置－照相机（相素 140 万） ，－光源 红色 LED 灯－电脑及 LCD 显示器主要检测硅片项目及其精度－硅片尺寸和对角线，最小精度 0.1mm －四边的平行度、垂直度 ,最小精度 0.06 度－崩边崩点、缺口和缺角，最小精度 0.15mm －穿孔 ,最小精度 0.2mm －表面污点、污渍、手指印 ,最小精度 2mm 尺寸和垂直度崩边缺口3． 2 硅片微裂纹检测模组的详细介绍如下主要配置－照相机（相素 200 万） ，－光源 氙灯－电脑及 LCD 显示器主要检测硅片项目及其精度－微裂纹，最小精度 0.003mm 4. Semilab 在线测试模组4.1 WLT-1 --- WLT-5 电阻率和厚度测试模组1 - 5 点 快速、无接触 厚度， TTV 和电阻率测试硅片厚度可选择 1-5 点测试，采用电容法，无接触，精度高，重复性好硅片体电阻率可选择 1-5点测试，采用涡流法，无接触，精度高，重复性好Process line with 3 measurement modules1 module for the measurement of resistivity in 1point and thickness in 5 points in the wafer 主要应用 进 /出厂硅片检查分类技术指标 样片尺寸 100 to 210mm 测试时间 0.8s 测试点位置 可调上下探头间距 4mm 样品传送方式 皮带硅片垂直抖动方向可容间距 300 μ m 电阻率 测试技术 涡流场法厚度 测试技术 电容法 测试范围 0.3-15 ohmcm 测试范围 200μm -1.5mm 精度 5 精度 1 or 5μ m 重复性 2 重复性 0.5 测试点直径 10mm 测试点直径 10mm 模组配置 WLT 测试模组 包括 . 1 个电阻率探头 和 1-5 个厚度探头 工 业控制计算机4.2WLL-1 to WLL-5 少子寿命测试仪1-5点快速无接触材料参数和工艺过程控制少子寿命是光伏应用硅片的主要质量控制参数 . WLL-x 测试仪设计允许 1-5 点快速， 无接触少子寿命测试，主要应用于硅片在线质量控制和分类. Process line with 3 measurement modules 5-point lifetime measuring module 在线产品的应用 进厂 /出厂硅片的分类 扩散后转化效率的预见及控制技术指标 测试技术 μ -PCD 样品尺寸 100 to 210mm 少子寿命测试范围 0.1- 1000μ s 测试重复性 3 测试时间 0.8s 测试点直径 3mm 探头于皮带间距 4mm 硅片垂直抖动方向可容间距 300 μ m 测试位置 可调 样品传送 皮带 系统尺寸 330x460x393mm WxHxD incl. 5 measurement head 135x460x403mm WxHxD incl. 1-3 measurement head 系统配置WLL 测试模组 包括 . 1-5 个测试探头 工业控制计算机5. 硅片筛选设备备品备件清单5.1． Conveyor belt 传输带5.2． Vacuum pad 吸嘴6. 硅片筛选设备厂务要求6.1．电 3 项 , 50Hz, 380V , 30A, 11KW 6.2．气压 6 kgf/ 管径 10MM 机台本身所能检测的最小精度如下 ,实际运行中这些参数可以根据贵公司的要求来设定Measurement criteria Accuracy or smallest detectable defectIntrusions into the outer contour 150 μ m Chipping 300 μ m General surface defects 2 mm holes 200 μ m Microcrack 3um Stains 2 mm Edge length 100 μm Rectangular shape 0,06Resistivity and thickness Resitivity accuracy-5, range0.3-15ohmcm, Thickness accuracy-1 or -5um, range 100um-1.5mm Lifetime test Range0.1-1000us, repeatability 3 P/N Type test Resistivity required 20mohmcm