扩散清洗岗位职责
岗位理想人员配置HP扩散前清洗 3HP扩散上下片 10SE氧化前清洗 1SE氧化上下片 3去 PSG清洗 3职责与要求1、负责及时从制绒传递窗拿取硅片,保证 HP-4-5-6 均匀硅片按照标识摆放,随工单插在晶片盒中间,不得叠在一起推车不得从 SCHMID靠墙处通过2、每次拿取硅片时,负责核对硅片数目3、每次拿取硅片时,负责每批次抽取 2片检查外观质量4、负责及时清洗甩干制绒后的硅片及时上料,每框需要按按钮确认,不得使清洗机 START按钮处于常开状态及时下料,甩干机不得按急停5、清洗甩干好的产品,及时放到对应的 HP-4-5-6 桌子上,并在随工单上做好记录随工单插在玻璃板下面6、负责清洗机的准时换液1、负责从扩散前清洗好的桌子上拿取对应的片子2、负责扩散石英舟上片、下片,注意速度控制和崩边控制3、扩散上片时负责检查制绒外观,有异常及时反馈,并注意挑绒面好的一面为正面4、单面扩散下片时,明确晶片盒的摆放位置,确保不混批5、负责使用石英舟的质量控制6、负责及时把扩散上片后的晶片盒摆放到货架上并摆放整齐,保持货架整洁负责从板式 PECVD传递窗拿取晶片盒摆放到货架上并摆放整齐,保持货架整洁7、负责扩散磷源的检查与更换8、负责把扩散后的片子及时送到去 PSG货架上,并按照 HP-4-5-6 摆放1、负责及时从 SE制绒传递窗拿取硅片,硅片按照标识摆放,随工单插在晶片盒中间,不得叠在一起2、每次拿取硅片时,负责核对硅片数目3、每次拿取硅片时,负责每批次抽取 2片检查外观质量4、负责及时清洗甩干制绒后的硅片及时上料,每框需要按按钮确认,不得使清洗机 START按钮处于常开状态及时下料,甩干机不得按急停5、清洗甩干好的产品,及时送到对应的桌子上,并在随工单上做好记录随工单插在玻璃板下面6、负责清洗机的准时换液1、负责从有氧化前清洗后标识的桌子上拿取氧化前清洗好的片子2、负责扩散石英舟上片、下片,注意速度控制和崩边控制3、氧化上片时负责检查制绒外观,有异常及时反馈,并注意氧化下片时挑绒面好的一面为正面4、负责使用石英舟的质量控制5、负责把 SE氧化上片后的晶片盒摆放到工作台下并摆放整齐,保持工作台整洁负责从 SE传递窗拿取晶片盒摆放到指定货架上并摆放整齐,保持整洁6、负责 SE氧化水的检查与添加7、负责把 SE氧化后的片子及时送到对应工作台上作业频次 使用设备 工装夹具 数量随时 推车 4辆每次每批 目视2片 / 批 目视随时 扩散前清洗机 2台随时2次 / 天 推车、劳动防护用品随时随时 镊子 1人 / 把随时 目视随时 目视随时 目视随时每班次 目视、劳动防护用品随时 推车 3辆随时 推车 4辆每次每批 目视2片 / 批 目视随时 扩散前清洗机 2台随时2次 / 天 推车、劳动防护用品随时随时 镊子 1人 / 把随时 目视随时 目视随时每班次 目视、劳动防护用品随时 推车 3辆