solarbe文库
首页 solarbe文库 > 资源分类 > PDF文档下载

光刻工艺认识实验报告

  • 资源大小:6.25KB        全文页数:3页
  • 资源格式: PDF        下载权限:游客/注册会员/VIP会员    下载费用:3金币 【人民币3元】
游客快捷下载 游客一键下载
会员登录下载
下载资源需要3金币 【人民币3元】

邮箱/手机:
温馨提示:
支付成功后,系统会根据您填写的邮箱或者手机号作为您下次登录的用户名和密码(如填写的是手机,那登陆用户名和密码就是手机号),方便下次登录下载和查询订单;
特别说明:
请自助下载,系统不会自动发送文件的哦;
支付方式: 微信支付    支付宝   
验证码:   换一换

 
友情提示
2、本站资源不支持迅雷下载,请使用浏览器直接下载(不支持QQ浏览器)
3、本站资源下载后的文档和图纸-无水印,预览文档经过压缩,下载后原文更清晰   
4、下载无积分?请看这里!
积分获取规则:
1充值vip,全站共享文档免费下;直达》》
2注册即送10积分;直达》》
3上传文档通过审核获取5积分,用户下载获取积分总额;直达》》
4邀请好友访问随机获取1-3积分;直达》》
5邀请好友注册随机获取3-5积分;直达》》
6每日打卡赠送1-10积分。直达》》

光刻工艺认识实验报告

光刻工艺认识实验报告一、光刻工艺操作1.硅片清洗和表面处理这个步骤由助教老师完成。所用硅片尺寸 2 英寸,厚度为 400μ m,单面抛光。掺杂类型 p 型。2.涂胶匀胶机第一、二级转速和各转速的运转时间由助教提前设置好。分别为 第一级转速 500n/min, 时间为 3 秒; 第二级转速为 4000n/min,时间为 60 秒。把处理好的硅片放在承片台正中,按下吸片按钮,硅片被吸住。检查确定被吸住后, 开始滴加光刻胶, 确保光刻胶覆盖整个硅片表面后停止。之后,按下开始按钮,开始匀胶。等匀胶结束后,按下吸片按钮。取出硅片,检查匀胶效果。光刻胶 KMP C5315(北京科华微电子材料有限公司) ; 匀胶机SC-1B匀胶机, (北京金盛微纳科技有限公司) 。3.前烘检查确定匀胶效果符合要求后,将硅片放在热板上烘干 2 分钟,温度为 100℃。烘干结束后,取下硅片。4.曝光将硅片放在曝光机内,设置好曝光时间 9 秒,开始曝光。曝光结束后,取下硅片。5.显影曝光结束后,将硅片浸没在显影剂中,左右晃动,时间为 8 秒。8 秒后,取出硅片放入去离子水中清洗。之后,用氮气吹干表面残留的水。6.镜检将显影结束后的硅片放在显微镜下, 调节显微镜, 知道看到清晰的光刻图案。检查光刻质量。二、光刻工艺中所用到的试剂及其作用1.光刻胶光刻胶 KMP C5315(北京科华微电子材料有限公司)又称光致抗蚀剂,由感光树脂、增感剂(见光谱增感染料)和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。 感光树脂经光照后, 在曝光区能很快地发生光固化反应, 使得这种材料的物理性能, 特别是溶解性、亲合性等发生明显变化。经适当的溶剂处理,溶去可溶性部分,得到所需图像。作用主要有两个一是将掩膜板上的图形转移到硅片表面的氧化层中;二是在后续工序中,保护下面的材料。2.显影液正胶显影液(北京科华微电子材料有限公司) ,作用是使经曝光后产生的潜影显现成可见影像。三、光刻工艺中的安全问题1.匀胶过程光刻胶有刺激性气味, 对皮肤也有腐蚀, 操作必须在通风橱中进行,并戴好手套。2.显影过程避免显影液以及各种清洗溶剂碰到皮肤, 实验室中的所有操作应佩戴手套。3.曝光过程紫外线对人体有伤害, 在曝光的过程中, 应避免眼镜对着曝光光源看,也避免手被曝光光源照射4.烘干过程因为硅片是在热板上被加热的,温度都在 100℃左右,因此取放硅片的时候,应采用镊子。5.氮气瓶氮气瓶内是高压气体,避免碰撞。6.硅片硅片是易碎品,取放时候要注意。四、评价和建议通过四十分钟的实验, 熟悉了光刻工艺的基本流程。 也通过自己的动手实验, 进一步掌握了简单光刻工艺的步骤, 对设备和试剂有了初步的了解。

注意事项

本文(光刻工艺认识实验报告)为本站会员(索比杜金泽)主动上传,solarbe文库仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对上载内容本身不做任何修改或编辑。 若此文所含内容侵犯了您的版权或隐私,请立即通知solarbe文库(发送邮件至401608886@qq.com或直接QQ联系客服),我们立即给予删除!

温馨提示:如果因为网速或其他原因下载失败请重新下载,重复下载不扣分。

copyright@ 2008-2013 solarbe文库网站版权所有
经营许可证编号:京ICP备10028102号-1

1
收起
展开