镀膜工艺文件

新余吉阳新能源有限公司This document and information herein is the property of JY and all unauthorized use and reproduction is prohibited.XinYu Giga Solar New Energy Co., Ltd 机密等级 机密 新余吉阳新能源有限公司Controlled Document （受控）Confidential level Confidential Document Title 文件名称 PECVD工艺文件Document Number文件编号 XY C-GY-03-BZ03 A/0Revision 文件版本 A/0 Revise Date 修订日期 2010-09-05 Prepared by 撰写者 吴军兰Create by which Unit 制定单位 工艺部编号Rev.A0 新余吉阳新能源有限公司This document and information herein is the property of JY and all unauthorized use and reproduction is prohibited.XinYu Giga Solar New Energy Co., Ltd Source Organization PECVD 工艺文件DOC NO. XYC-GY-03-BZ03 Original Effective Date 2010-09-05 PAGE 2of 9Amendment Records Item Date Revision Page Change Description Changed by 1 2010-09-05 A/0 All New release 吴军兰Rev.A0新余吉阳新能源有限公司This document and information herein is the property of JY and all unauthorized use and reproduction is prohibited.XinYu Giga Solar New Energy Co., Ltd 目录一． 适 用 范围 3 二． 工 艺 目的 3 三． 工 艺 原理 3 四． 参 数 设置 3 4 ． 1 适 用 范围 3 4 ． 2 工 艺 参数 4 五 ． 工 艺 流新余吉阳新能源有限公司This document and information herein is the property of JY and all unauthorized use and reproduction is prohibited.XinYu Giga Solar New Energy Co., Ltd 程 4 六 ． 工 艺 过 程 控制 5 七 ． 工 艺 控 制 目标 6 八 ． 附件 7 氮 化 硅 颜 色 与 厚 度 对 照表 7 新余吉阳新能源有限公司This document and information herein is the property of JY and all unauthorized use and reproduction is prohibited.XinYu Giga Solar New Energy Co., Ltd 适用范围及执行本文件适用于 PECVD 车间工艺过程控制。本文件由工艺部负责制定，质检部监督并保证如实执行，生产部具体执行。本文件的修改由工艺部负责，修改后的文件必须经过质检部的签字认可并备案，方可交付生产执行。1. 工艺目的采用 PECVD 镀膜方式在硅片表面镀上一层 SiNxH 减反射钝化膜，起到1） 减少硅片表面的光反射率；2） 氢离子注入，增强硅片表面和体内的钝化效果，降低载流子的复合。2. 工艺原理PECVD 即等离子体增强化学气相沉积（ Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ）技术，是一种利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。 晶体硅太阳能电池生产中主要用 PECVD 设备来淀积 SiNxH 减反射钝化膜。其反应方程式如下245034 HHSiNNHSiH xCo等离子体、在等离子体场的作用下，硅烷（ SiH 4）和氨气（ NH 3）发生分解、电离或激发，化学反应后在硅片表面沉积，生成富含氢的非晶薄膜。3. 镀膜工艺参数设置适用范围1 本工艺方案适用于中联科伟达公司生产的管式 PECVD 设备；2 本工艺方案适用于 156 多晶电池片生产；镀膜工艺参数新余吉阳新能源有限公司This document and information herein is the property of JY and all unauthorized use and reproduction is prohibited.XinYu Giga Solar New Energy Co., Ltd 工艺参数 最优值 工艺效果 /影响 备注温度 400450℃ 致密性，一般不作更改射频功率 3000W 镀膜速率，一般不作更改工艺压强 180195Pa 钝化效果、折射率（薄膜组分）总气体流量 30004000sccm 镀膜速率、均匀性（气路）气体流量比 NH 3/SiH 451101 折射率工艺时间 550760s 膜厚4. 工艺流程5.1 正常生产的工艺流程分为以下 20 个步骤（包含推荐镀膜工艺 mono-125）步号 步骤 步时间 s 压力（ Pa） 温度（℃） SiH4（ sccm） NH3（ sccm） 功率（ W）1 开始 10 450 2 充氮 25 450 3 放舟 380 450 4 慢抽 30 450 5 主抽 120 450 6 恒温 120 450 7 恒压 30 185 450 4500 8 预放电 30 185 450 4500 3000 9 淀积 200 185 450 900 3600 3000 10 抽空 6 450 11 抽空 30 450 12 预放电 30 185 450 4500 3000 13 淀积 510715 185 450 500 4000 3000 14 氮洗 3 450 15 抽空 60 450 16 氮洗 3 450 17 抽空 60 450 18 充氮 25 450 19 取舟 380 450 20 慢抽 60 450 21 主抽 60 450 22 结束 100 450 新余吉阳新能源有限公司This document and information herein is the property of JY and all unauthorized use and reproduction is prohibited.XinYu Giga Solar New Energy Co., Ltd 5.2 镀舟工艺流程新石墨舟交付生产使用前均必须进行镀舟预处理，即在石墨舟电极板上先镀上一层较厚的SiNxH 膜层。镀舟工艺流程一般为连续执行正常工艺流程至少 3 次（不包括进出舟步骤） 。5. 工艺过程控制6.1 工艺过程的监测和记录、工艺异常的及时汇报由当班质检员负责，工艺异常的及时解决由当班工艺员负责。6.2 控制项及指标1 检查并记录每次加工的工艺 recipe，保证其参数设置符合 4.2 中的规定。如不符合，必须立即通知当班工序长停止该管的生产任务， 同时报告当班质检组长、 工艺员。 事件处理完毕，由质检员给出处理报告，当班工艺员、工序长签字后，方可重新投片生产。2 参数控制指标工艺参数 偏差允许范围 检测手段 备注射频功率 0 W 1 次 /批，记录数值工艺压强 10 Pa 1 次 /批，记录数值NH3 流量 200sccm 1 次 /批，记录数值SiH 4 流量 100sccm 1 次 /批，记录数值3）反应及处理流程当“参数控制指标”未达到上述要求，即偏差值超过允许范围，但又未超过报警设置时，生产过程可继续进行， 但视为异常事件，当班质检员必须立即报告当班质检组长、工艺员，并做好记录。当班工艺员接到事件报告，应立即对此批次的硅片进行抽测，并给出事件处理意见。6. 工艺控制目标新余吉阳新能源有限公司This document and information herein is the property of JY and all unauthorized use and reproduction is prohibited.XinYu Giga Solar New Energy Co., Ltd 7.1 控制目标分项 目标值 检测仪器 检测方法 备注折射率 1.982.08 椭圆偏振仪 单片测 1 点折射率极差 片间 ≤ 0.1 椭圆偏振仪一舟抽取 5 片，每片测 1 点。薄膜厚度 75-85nm 椭圆偏振仪 单片测 1 点 膜色要求深蓝色膜厚均匀性 片间 ≤ 10 椭圆偏振仪一舟抽取 5 片，每片测 1 点。膜色显紫红色（小于片面 20即为合格）或淡蓝色即为不合格。反射率 不大于 5 D8 反射仪要求全波段检测，总反射率不大于 5。抽检7.2 反应及处理流程当班质检员通过检测发现工艺控制目标未达标， 应立即通知生产车间的工序长停止该管的生产任务，同时报告当班质检组长、工艺员。由当班工艺员判断事件的严重性， 必要时负责召集当班设备工程师、 质检员、 操作相关人员进行问题跟踪、设备排查、工艺试验；由当班工艺员给出事件处理意见及汇总报告。事件处理完毕，必须经当班设备工程师、工艺员、质检员、工序长四方认可并会签后，才能复产。大的工艺事故必须经设备部、工艺部、质检部、生产部的 PECVD 负责人会签认可后才能复产。新余吉阳新能源有限公司This document and information herein is the property of JY and all unauthorized use and reproduction is prohibited.XinYu Giga Solar New Energy Co., Ltd 八 . 附件