各岗位工艺要求及标准

制绒岗位工艺标准初配液标准（ 125*125 硅片） NaOH 2500克、 制绒添加剂 1800mL、 反应温度 84 度、 时间 1300s----1600s。腐蚀量 0.3 0.35g。后续添加 （ 200 毫升量杯） NaOH（固体） 150 毫升 /框、制绒添加剂50mL初配液标准（ 156.75*156.75 硅片） NaOH 2500克、 制绒添加剂 1800mL、 反应温度 84 度、 时间 1500s----1800s。腐蚀量 0.5 0.6g。后续添加 （ 200 毫升量杯） NaOH（固体） 175--200 毫升 / 框、制绒添加剂 50mL要求表面无脏污、手指印、色斑，均匀成灰黑色。扩散岗位工艺标准方 阻值 范围 125*125 硅 片 75---85 Ω □ ， 不 允 许 超 过 90Ω □；156.75*156.75 硅片 80 90，不允许超过 95Ω □要求 生产测试方阻发现超出标准范围的，要及时汇报工艺及巡检处理，工艺调试确认后方可继续进片生产。刻蚀岗位工艺标准刻蚀腐蚀量 156.75*156.75 减重量 0.15g 0.2g； 125*125 减重量 0.07g至 0.12g。要求 背抛效果均匀成灰白色、无单边发黑、无刻蚀不透、扩散面无过刻蚀等现象。PECVD岗位工艺标准膜厚 82 4nm； 折射率 2.07 0.03要求 正面均匀成蓝色或深蓝色、无色斑、无划伤、无镀膜后崩边、无吸笔印，无手指印等。丝网印刷岗位工艺标准印刷单耗量（ 125*125 硅片）一道 0.01----0.015g 、二道湿重 0.7---0.9g、三道0.05---0.065g （ 156*156 硅 片 ） 一 道 0.025---0.035g 、 二 道 1.3----1.4g 、 三 道0.105---0.115g 要求无虚印断栅、漏浆、粗线粗点、边框毛边等现象。