优质纳米晶硅薄膜的低温制备技术及其在太阳能电池中的应用进展_百度....txt

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In t his paper , t he recent research p ro gress of t he p rep2Abstract Nanocrystalline silico n film is a new f unctio nal material , which has bot h t he advantages of c2Si[ 15 ] SU KTI H , SWA TI R. Nanocrystalline silico n as in2Research progress in preparation techniques of high quality nanocrystalline sil icon thin f ilm at lo w temperature and its application to thin f ilm solar cellsC H EN Cheng2zhao 1 , Q IU Sheng2hua 1 , L IU Cui2qing1 , WU Yan2dan1 , L I Ping1 , YU Chu2ying2 , Lin Xuan2ying1 ,2 1 . De pt. of Physics an d En gi neeri n g , H ans han N orm al U ni versit y , Chaoz hou 521041 , Chi na;2 . De pt. of Physics , S hantou U ni versit y , S hantou 515063 , Chi na[ 17 ] 寮犵兢鑺�, 鏈 編鑺�, 鍒ˆ赴鐝�,�. 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