时创的SE碱抛工艺解决方案

时 创 SE碱抛解决方案进展 常州时创能源科技有限公司 张益荣 2019.06.04 目录 CONTENTS 1 公司简介 2 碱刻蚀的优势 3 时创碱抛添加剂的特色 4 时创 SE碱抛整体解决方案进展 公司简介 PART 1 4 公司简介 基本信息 常州时创能源科技有限公司 由浙江大学硅材料国家重点实验室毕业的团队创建 注册地点江苏 常州 溧阳 注册时间 2009年 11月 19日 员工人数 306人 研发 人员 102人 产品系列 单晶硅太阳电池制绒添加剂 TS系列 晶硅碱抛添加剂 PS系列 晶 硅单面制绒添加剂 ST系列 多晶黑硅制绒添加剂 BT系列 晶硅酸抛添加剂 PM系列 晶硅太阳电池体缺陷钝化设备 Anti-LID系列 碱刻蚀优势 PART 2 6 化学刻蚀与背抛技术分类 化学 刻蚀 酸刻蚀 碱刻蚀 碱背抛 单面制绒 酸抛 显微镜图 反射率 25 碱 抛 显微镜图 反射率 41 单面制绒 显微镜图 反射率 11 7 碱抛 VS酸抛的 优势 PERC电池 酸抛 碱抛 反射率 24-30 40 比表面积 1.2-1.23 1.01-1.02 化学品成本（ RMB/pcs 0.084 0.056 处理费成本（ RMB/pcs 0.156 0.046 提效幅度 Baseline 0.15-0.25 效率比对 SE酸抛效率 常规碱抛 反射率 比表面积碱抛 酸抛 效率 碱抛 酸抛 成本 酸抛 碱抛 碱 抛技术兼具环保，可提效降本。 REFERENCE Jusfong Yu et al.,” A NOVEL METHOD OF REAR-SIDE ALKALINE POLISHING FOR LOW-COST AND HIGH-EFFICIENCY PERC SOLAR CELLS” 时创碱抛添加剂的特色 PART 3 9 碱抛添加剂 PS31介绍 保护正面氧化层机理 HF去单面 PSG PSG/氧化层 保护层 ---自组装分子保护正面 PSG腐蚀 0.15 SE 链式 热 氧 去 PSG碱抛 后道工艺 效率提升 0.15 14 具体实绩 Condition 客户 A单面 PERC Eta Voc Isc FF Rs Irev2 Rsh 时创 SE碱抛方案 22.03 0.6852 9.841 79.82 2.96 0.175 206.17 SE酸抛 21.81 0.6818 9.793 79.82 2.88 0.202 277.05 Condition 时创光伏单面 PERC Eta Voc Isc FF Rs Irev2 Rsh 时创 SE碱抛方案 22.24 0.6794 9.721 82.25 3.18 0.058 294.05 常规碱抛 22.04 0.6752 9.691 82.30 3.26 0.024 325.23 不论对比常规碱抛或 SE酸抛，时创 SE碱抛方案效率 Baseline0.2。 后续优化各站工艺匹配，预计可提升效率至 0.3。 15 合作客户 THANKS 常 州 时 创 能 源 科 技 有 限 公 司