某太阳能电池生产线废气净化设计探讨

某太阳能电池生产线废气净化设计探讨摘要 本文结合工程设计实例， 从太阳能电池生产线有害气体的分析及其净化处理方式等方面对该项目通风系统方面的设计进行了阐述。关键词通风系统；有害气体分析；净化处理方式；设计1 项目概况本项目为 100MW 太阳能电池生产线， 其生产过程中涉及制绒、 扩散、 镀膜、印刷等工艺，在生产过程中会使用大量的化学试剂，如盐酸、氢氟酸、硝酸、硫酸、氢氧化钾、硅烷、氨气、醇类脂类有机物等，这些化学试剂在使用过程中会释放出大量的有害废气，所排放的废气主要为 HCl 、 HF、氮氧化物、硫酸雾、氯气、氢氧化钾蒸汽、氨气、硅烷、醇类及脂类废气等，这些废气需要被有效的处理，完全达到国家和地方的排放标准后才能排入大气中。2 生产工艺废气分析2.1 制绒工艺废气分析在制绒工艺过程中， 废气源主要为制绒清洗机， 废气种类因工艺不同而有区别，主要废气为硝酸，氢氟酸（多晶制绒） ；氢氧化钾及异丙醇（单晶制绒） ，本项目制绒工艺产生的废气为 HF 及氮氧化物等。2.2 扩散工艺废气分析扩散工艺涉及的设备主要是扩散炉、石英管清洗机、通风柜等。扩散炉排出的废气是酸性废气及热废气， 酸性废气主要为 Cl2 及氮氧化物等。 石英管清洗机、通风柜产生的废气以 HF 及 HCl 为主，属于酸性废气。2.3 镀膜工艺废气分析镀膜工艺涉及的主要设备为湿法刻蚀设备及 PECVD 等。 本项目湿法刻蚀机产生的废气为酸性废气，其中工艺废气主要包含 HF、氮氧化物及 HCl 等；PECVD 尾气主要包含硅烷及氨气等。2.4 印刷工艺废气分析印刷工艺涉及的主要设备为印刷机和烧结炉， 产生的废气主要是一些以脂类和醇类废气为主的有机废气及热废气。