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简介：半导体材料硅片的磨削方法及装置 3侯江华河南机电高等专科学校 教务处 ,河南 新乡 453002 摘要 硅片是半导体器材的主要元件 ,在印刷集成电路及微型集成仪表中有着广泛应用 。文章在分析物理 - 化学加工硅片方法存在的问题的基础上 ,讨论了磨料悬浮磨削及粘接磨料磨削硅片的方法 ,以及两种磨削采用的装置及其主要运动参数选择和达到的质量指标 。关键词 硅片 ;悬浮磨削 ;粘接磨削中图分类号 T H162 文献标识码 A 文章编号 1008 22093 2006 0420009202目前微电子技术正向着增加单晶体 、 印刷电路硅片元件

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简介：1 江西太阳能科技职业学院课 程 设 计题 目硅片清洗工艺的原理和现状专 业 光伏材料加工与应用技术班 级 11 级光伏材料（ 3）班院 系 光伏材料系指导教师日 期 2013 年 10 月 07 日2 半导体硅片清洗工艺的发展研究【摘要】随着大规模集成电路的发展， 集成度的不断提高， 线宽的不断减小， 对硅片的质量要求也越来越高，特别是对硅抛光片的表面质量要求越来越严。在硅晶体管和集成电路生产中， 几乎每道工序都有硅片清洗的问题， 硅片清洗的好坏对器件性能有严重的影响， 处理不当， 可能使全部硅片报废， 做不出晶体管来， 或者制造出来的器件性能低劣， 稳定性和可靠性很差。 因此

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简介：单晶硅太阳能电池的生产与检测光予小组制作2014/5/25 一、直拉单晶硅的相关知识二、直拉单晶硅的制备工艺（一）工艺概述（二）各项工艺步骤的特点三、直拉单晶硅的发展前景一，直拉单晶硅的相关知识硅单晶是一种半导体材料。直拉单晶硅工艺学是研究用直拉方法获得硅单晶的一门科学，它研究的主要内容硅单晶生长的一般原理，直拉硅单晶生长工艺过程，改善直拉硅单晶性能的工艺方法。直拉单晶硅工艺学象其他科学一样，随着社会的需要和生产的发展逐渐发展起来。十九世纪，人们发现某些矿物，如硫化锌、氧化铜具有单向导电性能， 并用它做成整流器件，显示出独特的优点，使半导体材料得到初步应用。后来，人们经过深入研究，制造出多