PECVD 工艺异常问题汇总 序 号 工艺异常现 象 解决方案 注意事项 1 PE 片子折射率偏高或 偏低 1.检查硅烷和氨气流量计是否损坏。 2.并分别更换硅烷和氨气流量计进行 测试,判断硅烷或氨气输出流量是否 偏高或偏低。 3.更换新的流量计,OK。 如出现类似异常,在更换...
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管式 PECVD 流量对太阳电池氮化硅膜影响的工艺研究 来源深圳市大族光伏科技股份有限公司 作者 李军阳 时间 2011-09-19 氮化硅膜作为晶体硅太阳能电池减反射钝化膜是目前太阳能电池制备的主流,然而由于用 PECVD 来制备的氮化硅膜,是以 SixNyHz 方式来表达的,其中的...
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精曜科技 ARCHERS SYSTEMS www.ArchersSystems.com 精曜科技 S SYSTEMS 精曜科技高效异质结 HJT电 池 量 产关键设备 -PECVD与 RPD 精曜科技 / Archers Systems 副总 经理 陈 麒麟博士 Enabling Innovatio
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centrotherm CESAR Recipe Description PECVD SiNx Deposition Version 2.0 Reg97, CAN EFM CESAR Recipe Description PECVD SiNx 03.11.2009 © centrotherm 1
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PECVD制备氮化硅薄膜的研究进展 毕业设计(论文) ( 2013 届) 题 目 PECVD制备氮化硅薄膜的研究进展 学 号 1003020147 姓 名 钟建斌 所 属 系 新能源科学与工程学院 专 业 材料加工及技术应用 班 级 10 材料( 1)班 指导教师 胡耐根 新余学院教务处制 PECV
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ge www.elsevier.com/locate/solmat High efficiency n-type silicon solar cells with passivating contacts based on PECVD silicon films doped by phosphorus d
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p量产型异质结产业化装备2019Introduction of HJT production line北京捷造光电技术有限公司HJT-PECVD HJT-PVD 鲍刚2019.09 04 技术合作TECHNICAL COOPERATION03 HJT-250MW标准产线HJT-250MW STAND
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yright © 2009 Ideal Energy Equipment Shanghai Ltd, All Rights Reserved上海理想万里晖薄膜设备有限公司 2 0 1 9 0 9 杭州GW级SHJ电池高端PECVD设备国产化Ideal Energy Shanghai Sunflowe
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p平板PECVD在高效电池中的研制进展汇报人许烁烁单位中国电科48所 中国电子科技集团公司第四十八研究所THE 48TH RESEARCH INSTITUTE CHINA ELECTRONICS TECHNOLOGY GROUP CORPORATION2019.09 1 目 录一.中国电科48所光伏
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p技术总结 一、PECVD沉积温度对钝化接触结构影响最为显著 温度提高会轻微提高沉积速率; 温度提高会提高本征非晶硅及后续的掺杂多晶硅结晶度; 薄膜在较高沉积温度下可获得较好的致密度; 较高的结晶度及致密度会降低磷的掺杂速率; 钝化效果随温度提高先上升后下降...
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Data Collection Details Created By Download Number of Probes 6 Sample Interval 000.50 mmss.t Data Loaded 10/09/2010 105005 Collection Started 10/09/2
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追求最佳 Datapaq null SolarPaq减反射涂覆专用系统被设计为光伏电池片通过等离子涂覆 工艺过程时监测产品温度测绘曲线。通过与各主要PECVD设备供应商合作, 共同设计的Solarpaq减反射涂覆专用系统在穿过PECVD设备时,即使激活了 等离子(plasma),也可以准确测量被..
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第 15卷第 1期 材 料 科 学 与 工 程 总第 5 7期 V o 1115N o 11 M aterials Science 在 M O S 电路中 , Si3N 4和 SiO 2组成复合栅绝缘层 \[ 2 \], 对于提高电路的击穿电压起了很大作用 , 是 M O S 电路中最重要的工艺之一
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拟制 审核 批准 日期 部门单位东磁太阳能 第 1 页 共 8 页 版本A1.1 编号Q/DM18 技 8.01-2010 PECVD 工艺文件 1. 原理 4.1 PECVD 技术原理 PECVD 等离子体增强化学气相沉积,是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离 子体,而等
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