硅片等级分类及标准New Roman “ 一、优等品1硅片表面光滑洁净。2 TV 220± 20μ m。3几何尺寸边长 125± 0.5mm;对角 150± 0.5mm、 148± 0.5mm、 165± 0.5mm;边长 103± 0.5mm、对角 135± 0.5mm;边长 150± 0.5m
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硅片的检测版本 1 弯曲是指有效面积内有规律的发生形变,翘曲是指有效面积内局部发生形变。A 级 B 级 C级 D级 E 级线痕TVTTV孪晶多晶裂纹、裂痕应力空洞缺角V 型缺口弯曲度翘曲度硅多晶线性尺寸长度无或轻线无无无不存在多晶无无无无无无6≦ L≦ 100mm ≦ 10μ m,≦ ...
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硅片等级和硅片出现问题解决方案硅片等级分类及标准一、优等品1硅片表面光滑洁净。2 TV 220± 20μ m。3几何尺寸边长 125± 0.5mm;对角 150± 0.5mm、 148± 0.5mm、 165± 0.5mm;边长 103± 0.5mm、对角 135± 0.5mm;边长 150± 0
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硅片等级分类及标准链接 www.china-nengyuan.com/tech/17054.html 硅片等级分类及标准一、优等品1硅片表面光滑洁净。2 TV 220± 20μ m。3几何尺寸边长 125± 0.5mm;对角 150± 0.5mm、 148± 0.5mm、 165± 0.5mm;边长
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硅片等级分类及标准 一、优等品 1硅片表面光滑洁净。 2TV 220±20μm。 3几何尺寸 边长 125±0.5mm;对角 150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm; 边长 103±0.5mm、对角 135±0.5mm; 边长 150±0.5mm 、156±0.5mm、对角 20
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