硅片电阻测试仪硅片电阻测试仪是用来测量硅片、 硅单晶、 锗单晶电阻率的测量仪器。 它由电气测量部份 (简称 主机) 、测试架、四探针头及专业测量软件组成。功能特点本套仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时...
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Semiconductor Technology Vol. 29 No. 11November 2004 51 引 言硅片级可靠性 测试最早是为了实现内建 可靠性而提出的一种测试手段 [1]因此 工艺工程师在调节了工艺后实时地了解工艺调节后对可靠性的影响如今 所...
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LE 1000-2 电子厚度测定仪采用最新测量技术特点最新式的高精度内部光学测量仪器。通过电缆释放装置( cable release)或空气压力连接柱塞驱动。适用于薄膜厚度、位移、位置及尺寸的精确测量。 LE 1000-2 是大部分测量应用的理想仪器。系统特点及优势系统高精度优于 ±...
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硅片级可靠性测试 转)赵 毅,徐向明(上海华虹 NEC 电子有限公司,上海 201206 )摘要介绍了硅片级可靠性之所以成为现在半导体工艺研发重要组成部分的原因。对硅片级可靠性所涉及的各个项目作了详细的介绍。同时,对各个项目的测试和评价方法也做了详细的分析。最后...
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Measurements of the Bond Strength for Wafer BondingXIAO Ying2ying1 , WANG Jian2hua1 , HUANG Qing2an2 , QIN Ming 21. School of Science, Hefei Universit
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实验二 四探针法测试硅片的电阻率一、 实验目的1. 掌握方块电阻的概念和意义;2. 掌握四探针法测量方块电阻的原理;3. 学会操作四探针测试仪。二、 实验原理1. 方块电阻对任意一块均匀的薄层半导体,厚 W,宽 h,长 L。图 1 薄层半导体示意图如果电流沿着垂直于宽和...
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实验三 四探针法测试硅片的电阻率一、 实验目的1.理解非平衡载流子的注入与复合过程;2.了解非平衡载流子寿命的测量方法;2.学会光电导衰退测量少子寿命的实验方法。二、 实验原理1.方块电阻对任意一块均匀的薄层半导体,厚 W,宽 h,长 L。图 1 薄层半导体示意...
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实验 1 硅片氧化层性能测试氧化层性能测试1 质量要求 二氧化硅薄膜质量好坏,对器件的成品率和性能影响很大。因此要求薄膜表面无斑点、裂纹、白雾、发花和针孔等缺陷。厚度达到规定指标并保持均匀,结构致密。对薄膜中可动带电离子,特别是钠离子的含量要有明确的要...
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江苏固德威电源科技股份有限公司官网 www.goodwe.com光伏系统系列运维工具 -EL 测试仪一.前言随着我国光伏产业规模的逐年增大,电站的运营、维护、托管业务将可能成为光伏行业未来一个重要方向。而电站运营效率和效果将直接影响光伏电站的运行稳定性和发电量。 光伏...
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DH6521A型多功能太阳能电池综合特性测试仪 含使用说明书 实验指导书杭 州 大 华 科 教 仪 器 研 究 所杭州大华仪器制造有限公司1 背景知识能源 是人类社会生存的重要物质基础。随着社会经济规模的扩大,人类对能源的需求量剧增。 目前全球每年 能源 消费总量已经超...
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EL 测试在光伏太阳能电池检测中的应用郭占苗( 西安航空职业技术学院 电子工程系 , 陕西 西安 710089)摘要 为了满足客户对太阳能电池组件性能的更高要求 , 通过对电池片的 EL 测试 , 从来料方面进行把关 , 通过对层压敷设件和组件的 EL 测试 , 能够合理的控制...
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71随着光伏市场的不断发展,客户对光伏组件的要求也越来越高。传统的人工判断硅片质量的方法已经落伍甚至已被淘汰, Hennecke分选机的应用推动了光伏行业的进步。它的应用不仅提高了工作效率,还反映了每一张硅片的质量,为后续制造出更高发电效率的光伏组件提供了有...
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